真空計的壓力測量特性
?真空測量特性
1.測量壓力范圍寬,105~10~14Pa。
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2.大多數(shù)真空計是間接測量的。只有當壓力為105~1OPa時,才能直接測量單位面積的力。然而,大多數(shù)真空測量的壓力比上述值小得多,無法直接測量。低壓下氣體的一些特性(如熱傳導(dǎo)、粘度和電離)應(yīng)用于間接測量。
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3.多采用非電量測量技術(shù)。
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4.大多數(shù)真空計讀數(shù)與氣體的類型和成分有關(guān)。因此,測量時應(yīng)特別注意待測氣體的類型和成分,否則會造成很大誤差。
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5.測量精度不高。
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6、市場可用性、購買難度和規(guī)格。