真空計測量范圍
?在壓力測量中,除少數(shù)直接測量外,絕大多數(shù)是間接測量。它首先在被測氣體中引起某些物理現(xiàn)象,然后在此過程中測量與壓力有關(guān)的物理量,然后嘗試確定壓力值。這是真空測量的特點,也會引起一些問題。
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任何特定的物理現(xiàn)象與壓力之間的關(guān)系在一定的壓力范圍內(nèi)最為顯著,超過這個范圍后,這種關(guān)系變得很弱。因此,任何方法都有自己的測量范圍,即真空計的“范圍”。盡可能擴大各種方法的范圍是真空科學(xué)研究的重要內(nèi)容之一?,F(xiàn)代真空技術(shù)涉及的壓力范圍寬達19級(105 ~ 10-14pa)。沒有真空計能測量如此寬的壓力范圍。因此,通常使用幾個真空計來控制某些區(qū)域。然而,由于各種真空計的原理不同,它們連接的區(qū)域往往會產(chǎn)生較大的誤差。
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在被測空間中會產(chǎn)生一些物理現(xiàn)象,這個問題也會出現(xiàn),即從測量的角度來看,需要一個簡單的物理現(xiàn)象,但有時一系列寄生現(xiàn)象是不可避免的。這些寄生現(xiàn)象不僅給測量帶來誤差,有時還“占主導(dǎo)地位”,完全掩蓋了主要現(xiàn)象。
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從上述觀點來看,為了提高真空計的性能,提高真空測量的精度,必須突出主要現(xiàn)象,抑制寄生現(xiàn)象。