測量方法

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測量方法主要分為三種類型。這些是“檢測壓力本身的方法”、“利用氣體傳輸現(xiàn)象的方法”和“利用氣體中的電離現(xiàn)象的方法”。

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利用氣體傳輸現(xiàn)象的方法

熱傳導真空計是利用氣體傳輸現(xiàn)象的真空計。這是利用氣體的熱導率根據(jù)壓力而變化的特性的真空計。

熱傳導真空計有多種類型，包括皮拉尼真空計、熱敏電阻真空計和熱電偶真空計。關于熱傳導真空計需要注意的重要一點是，在高真空下，熱輻射的影響變得大于熱傳導的影響。因此，熱導真空計的缺點是不能用于高真空測量。